Prozessstabilität sichern und die Total Cost of Ownership (TCO) nachhaltig senken: Das gehört zu den zentralen Erfolgsfaktoren in der Halbleiterindustrie. Da die kontinuierliche Bereitstellung Klasse-0-zertifizierter Druckluft erhebliche Energiemengen bindet, schlägt sich eine effiziente Erzeugung sofort