台大團隊突破半導體檢測瓶頸 次世代晶片微縮 現在可以「直接量」 - 生活 - 自由時報電子報
晶片愈做愈小,電子從金屬進入半導體後究竟要走多遠,過去主要靠模型間接推算,現在可以「直接量」。台灣大學物理系特聘教授邱雅萍研究團隊研發「臨場剖面掃描穿隧顯微半導體檢測技術」,首次直接量測二維半導體電晶體接觸邊緣的載子轉移長度,實驗測得約二奈米,突破次世代晶片微縮的關鍵檢測瓶頸,成果刊登國際期刊「自然」(Nature)。團隊說明,電晶體要持續縮小,不能只縮短電子移動的通道,金屬與半導體間的接觸區也須同步微縮。其中「載子轉移長度」,簡單來說,就是電子從金屬進入半導體時,實際完成注入所需的有效距離,直接影響接觸電阻,以及元件能否在極小尺寸下正常運作。